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是一種無色、無味、無毒的氣體，不可燃，微溶于水。分子為八面體構型，屬于超價分子，無極性(化學式：SF6)
六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油之間的新
一代超高壓絕緣介質材料。六氟化硫以良好的絕緣性能和滅弧性能。電子級六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被應用于微電子技術領域。
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